Skaningowy mikroskop elektronowy

Skaningowy mikroskop elektronowy (SEM, z ang. scanning electron microscope) – rodzaj mikroskopu elektronowego, który wytwarza obraz próbki przez skanowanie powierzchni zogniskowaną wiązką elektronów, które oddziałują z atomami w próbce, wytwarzając różne sygnały zawierające informacje o topografii powierzchni i składzie próbki. Wiązka elektronów „oświetla” kolejne punkty próbki, a pozycja wiązki jest łączona z intensywnością wykrytego sygnału w celu wytworzenia obrazu. W najpopularniejszym trybie SEM elektrony wtórne emitowane przez atomy wzbudzone wiązką elektronów są wykrywane za pomocą detektora elektronów wtórnych (Detektor Everharta-Thornleya). Liczba elektronów wtórnych, które można wykryć, a tym samym natężenie sygnału, zależy m.in. od topografii próbki. Niektóre SEM mogą osiągnąć rozdzielczości lepsze niż 1 nanometr.

Konwencjonalne skaningowe mikroskopy elektronowe wymagają wysokiej próżni, rozwój instrumentów spowodował opracowanie technik SEM w niskiej i zmiennej próżni^[1].